Electron beam lithography (EBL) and laser beam lithography (LBL) systems
University of Jyväskylä
University of Jyväskylä (JYU) is inviting tenders for a combination of an electron beam lithography system (EBL) and a laser beam lithography system (LBL), both capable of mix-and-match processing based on CAD drawings in GDSII file format. We are searching a Dedicated EBL tool AND a Dedicated LBL tool for research and development of state of the art micro- and nano-scale features requiring high fidelity in patterning and edge smoothness. Contracting authority has a need for high precision and versatile lithography tools for patterning of optical wave guides and lattices, phononic crystals and mechanic resonators; with the goal of investigating quantum phenomena and the interplay between such structures. Contracting authority has a need for the lithography tools to support integration of high fidelity nano-scale features into considerably larger designs, such as microfluidic networks with widths of about 100 um and lengths of several mm. Therefore, contracting authority puts emphasis on the two lithography systems having good support for mix-and-match lithography, i.e. well documented procedures for sharing CAD pattern libraries for straightforward implementation in mix-and-match exposures on the same resist layer. The EBL and LBL systems should manage mix-and-match exposures with resists such as Shipley S1813, SU-8 and AZ5200-E series. Prior references of supplying comparable systems are required. Contracting authority (JYU) may suspend the procurement procedure if the price level of the tenders exceeds the budget available for the procurement
MääräaikaTarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2025-05-12. Hankinta julkaistiin 2025-04-08.
Kuka? Mitä? Missä?| Päivämäärä | Asiakirja |
|---|---|
| 2025-04-08 | hankintailmoitus |
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Electron beam lithography (EBL) and laser beam lithography (LBL) systems
Viitenumero: 49/02.03.00.00/2025
Lyhyt kuvaus:
“University of Jyväskylä (JYU) is inviting tenders for a combination of an electron beam lithography system (EBL) and a laser beam lithography system (LBL),...”
Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Tietoa eristä
Tämä sopimus on jaettu osiin ✅
Tarjouksia voidaan jättää kaikista eristä ✅
1️⃣
Sisäinen tunniste: 1
Otsikko: EBL system
Tämä hankinta soveltuu myös pienille ja keskisuurille yrityksille (pk-yrityksille) ✅
Hankinnan kuvaus:
“A Dedicated EBL tool for fabrication of state of the art nano-scale structures. Contracting authority has a need for high precision and versatile tool which...”
Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Edistettävä sosiaalinen tavoite: Ihmisoikeuksia koskeva due diligence -velvoite maailmanlaajuisissa toimitusketjuissa
Maa: Suomi 🇫🇮
Kesto: 12 (MONTH)
Jäljempänä oleva aikataulu on ilmaistu kuukausina.
Myöntämisperusteet
Hinta ✅
Hinta (painotus): 80
Laatukriteeri (nimi): Laatu
Laatukriteeri (painotus): 80
Otsikko
Erän tunnistenumero: LOT-0001
2️⃣
Sisäinen tunniste: 2.
Otsikko: LBL system
Hankinnan kuvaus:
“A laser beam lithography system (LBL) for advanced microfabrication of semiconductor and biomedical devices. The system will be installed in a clean-room...”
Suorituspaikka: Keski-Suomi 🏙️
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (painotus): 20
Otsikko
Erän tunnistenumero: LOT-0002
Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Avoin menettely ✅
Oikeusperusta: Direktiivi 2014/24/EU
Menettelyn tärkeimmät piirteet:
“In an open procedure the contracting entity publishes a contract notice and places a call for tenders for the receivable, on which basis all prospective...”
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2025-05-12 13:15:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2025-05-13 07:00:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Vähimmäisaika, jonka kuluessa tarjoajan on pidettävä tarjous voimassa: 3
Tarjouspyynnön ehdot
Tarjoaja voi jättää useamman kuin yhden tarjouksen
Tarjousten avaamisen päivämäärä: 2025-05-13 07:00:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Sähköinen laskutus: Pakollinen
Sähköistä maksua käytetään ✅
Lisätietojen pyytämisen määräaika: 2025-05-02 13:15:00 📅
Myöntämisperusteet
Painotustyyppi: Painotus (pisteinä, tarkka)
Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Poissulkemisperuste: bankr-nat
bankruptcy
corruption
cred-arran
crime-org
distorsion
envir-law
finan-laund
fraud
human-traffic
insolvency
labour-law
liq-admin
nati-ground
partic-confl
prep-confl
prof-misconduct
sanction
socsec-law
socsec-pay
susp-act
tax-pay
terr-offence
Kuvaus poissulkemisperusteista:
“The economic operator is in any analogous situation like bankruptcy arising from a similar procedure under national laws and regulations.”
“The economic operator is bankrupt.”
Näytä lisää (21)
“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”
“The economic operator is in arrangement with creditors.”
“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”
“The economic operator has entered into agreements with other economic operators aimed at distorting competition.”
“The economic operator has breached its obligations in the field of environmental law.”
“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”
“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”
“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”
“The economic operator is the subject of insolvency or winding-up.”
“The economic operator has breached its obligations in the field of labour law.”
“The assets of the economic operator are being administered by a liquidator or by the court.”
“Any person who is a member of the economic operator’s administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision or control...”
“The economic operator is aware of any conflict of interest, as indicated in national law, the relevant notice or the procurement documents due to its...”
“The economic operator or an undertaking related to it has advised the contracting authority or contracting entity or otherwise been involved in the...”
“The economic operator is guilty of grave professional misconduct.”
“The economic operator has experienced that a prior public contract, a prior contract with a contracting entity or a prior concession contract was terminated...”
“The economic operator has breached its obligations in the field of social law.”
“The economic operator has breached its obligations relating to the payment social security contributions, both in the country in which it is established and...”
“The business activities of the economic operator are suspended.”
“The economic operator has breached its obligations relating to the payment of taxes, both in the country in which it is established and in Member State of...”
“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”
Hankintaviranomainen
Nimi ja osoitteet
Nimi: University of Jyväskylä
Kansallinen rekisterinumero: 0245894-7
Postiosoite: Seminaarinkatu 15
Postinumero: 40014
Postitoimipaikka: Jyväskylän yliopisto
Alue: Keski-Suomi 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Yhteyspiste: Hankintapalvelut
Sähköposti: hankinnat@jyu.fi 📧
Puhelin: +358 0142601211 📞
URL: http://www.jyu.fi 🌏
Hankintaviranomaisen tyyppi
Julkisoikeudellinen yhteisö
Päätoimi
Koulutus
Viestintä
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/jyu?id=554652&tpk=f5818810-6526-450c-9dc2-46e72a8a5aec 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/jyu?id=554652&tpk=f5818810-6526-450c-9dc2-46e72a8a5aec 🌏
Tarjouksen/hakemuksen jättäminen sähköisesti: Pakollinen
Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Kansallinen rekisterinumero: 3006157-6
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postinumero: 00520
Postitoimipaikka: Helsinki
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Puhelin: +358 295643300 📞
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Tietoa sähköisistä työnkuluista
Sähköinen laskutus hyväksytään
Sähköistä maksua käytetään
Lähde: OJS 2025/S 070-230844 (2025-04-08)
- Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) (18 uudet hankinnat)
- Navigoinnissa ja meteorologiassa käytettävät välineet
- Geologiassa ja geofysiikassa käytettävät välineet (1)
- Mittalaitteet (2)
- Fysikaalisten ominaisuuksien mittausvälineet (6)
- Testaus- ja koelaitteet (1)
- Optiset instrumentit (1)
- Ajanrekisteröintilaitteet ja vastaavat mittarit; pysäköintimittarit
- Teollisuuden prosessinohjauslaitteet ja kauko-ohjauslaitteet
- Erilaiset arviointi- ja testausvälineet