Wafer metrology

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

The object of the tender is semi-automatic wafer metrology tool (later also “tool”) for measurement of total thickness, TTV (total thickness variation), warp, bow, metallization bumps, trench or via depth and geometric factors in substrates typical in semiconductor industry such as but not limited to silicon wafers, chips, stacked wafers, stacked chips, samples containing mixed oxides, or/and thin materials deposited. The tool must be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.

Määräaika
Deadline 2026-05-29

Kuka?

Mitä?

Missä?

Hankintojen historia
Päivämäärä Asiakirja
2026-04-24 hankintailmoitus
hankintailmoitus (2026-04-24)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Wafer metrology
Viitenumero: Ref.no. 11/206/2026
Lyhyt kuvaus:
“The object of the tender is semi-automatic wafer metrology tool (later also “tool”) for measurement of total thickness, TTV (total thickness variation),...”    Näytä lisää
Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Kuvaus
Hankinnan kuvaus:
“The object of the tender is semi-automatic wafer metrology tool (later also “tool”) for measurement of total thickness, TTV (total thickness variation),...”    Näytä lisää
Lisätietoja:
“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.”
Lisätuotteet/palvelut: Mittalaitteet 📦
Pääkohde tai suorituspaikka:
“Please see the invitation to tender.”
Suorituspaikka: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Kesto: 36 (MONTH)
Jäljempänä oleva aikataulu on ilmaistu kuukausina.
Myöntämisperusteet
Hinta
Hinta (painotus): 90
Laatukriteeri (nimi): The evaluation of the tenders is described in section 'Grounds for decision'.
Laatukriteeri (painotus): 10
Otsikko
Erän tunnistenumero: LOT-0000

Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Avoin menettely
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2026-05-29 06:00:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2026-05-29 06:05:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot (paikka): Tarjousten avaamisen ajankohta on alustava. Tarjousten avaustilaisuus ei ole julkinen.
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Vähimmäisaika, jonka kuluessa tarjoajan on pidettävä tarjous voimassa: 6

Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Sopimukseen liittyvät ehdot
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot:
“A binding contract between the parties concerning the subject of the procurement shall not enter into force until both parties have signed the contract. For...”    Näytä lisää

Hankintaviranomainen
Nimi ja osoitteet
Nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
URL: https://www.vttresearch.com/fi 🌏
Hankintaviranomaisen tyyppi
Julkisoikeudellinen yhteisö
Päätoimi
Talous- ja rahoitusasiat
Viestintä
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=595735&tpk=3de1a9fa-68a0-477f-84ed-82e1b7d7e390 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=595735&tpk=3de1a9fa-68a0-477f-84ed-82e1b7d7e390 🌏

Täydentävät tiedot
Lisätietoja

“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.”
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Kansallinen rekisterinumero: 3006157-6
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postinumero: 00520
Postitoimipaikka: Helsinki
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Puhelin: +358 295643300 📞
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Uudelleentarkastelumenettely
Tarkat tiedot uudelleentarkastelumenettelyjen määräajasta (määräajoista):
“The appeal period is determined in accordance with the Act on Public Procurement and Concession Contracts (1397/2016).”
Tietoa sähköisistä työnkuluista
Sähköinen laskutus hyväksytään
Sähköistä maksua käytetään
Lähde: OJS 2026/S 082-290369 (2026-04-24)