Plasma ALD

hankintailmoitus (2023-05-16)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Erilaiset yleis- ja erikoiskoneet
Viitenumero: Reg. no 33/206/2023
Lyhyt kuvaus:
“The object of the tender is a 2-chamber Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Cluster with Automatic Wafer Handling (later also “Equipment” and/or "Tool")...”    Näytä lisää
Ilmoituksen metatiedot
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Erilaiset yleis- ja erikoiskoneet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️

Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Kokonaistaloudellisesti edullisin tarjous

Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Julkisoikeudellinen yhteisö
Hankintaviranomaisen nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Yhteystiedot
Internetosoite: https://www.vttresearch.com/en 🌏
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=458678&tpk=d983cc71-c1a2-4360-aa2c-cc0d91814ddd 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=458678&tpk=d983cc71-c1a2-4360-aa2c-cc0d91814ddd 🌏

Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2023-05-16 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2023-06-19 📅
Julkaisupäivä: 2023-05-19 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2023/S 096-301971
EUVL-S-numero: 96
Lisätietoja

“Additional information regarding the section II.2.7) above: Agreement shall enter into force on the latest date of signature by the Parties and shall be in...”    Näytä lisää

Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
“The object of the tender is a 2-chamber Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition Cluster with Automatic Wafer Handling (later also “Equipment” and/or "Tool")...”    Näytä lisää

“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.”
Arvioitu kokonaisarvo: 1 600 000 EUR 💰
Lyhyt kuvaus:
“The tool must comply with technical properties and functionality, performance specifications and acceptance criteria set out in this Annex 1. The tool must...”    Näytä lisää

“The tool specifications are based on the following parameters or targets:”

Näytä lisää (5)

“• Deposition uniformity”

“• Deposited film performance characteristics”

“• Substrate handling without errors and wafer loss”

“• Recipe library”

“The pricing of the equipment will consist of the main price for the minimum tool requirements (“total price of the equipment”) and a separate price for the...”

Lyhyt kuvaus

The pricing of the equipment will consist of the main price for the minimum tool requirements (“total price of the equipment”) and a separate price for the optional parts, features and efforts. The optional parts, features and efforts are not included in the total price of the equipment.

   Näytä lisää

Kesto: 12 kuukautta
Vaihtoehtojen kuvaus:
“The contracting entity may procure the following or some of the following optional features from the contract supplier (see Annex 1):”

“• Optional feature 1: gas line and in-situ production of ozone (O3) for chamber dedicated to oxides”

Näytä lisää (2)

“• Optional feature 2 : integrated ellipsometry hardware for one chamber”

“Offering optional features is not mandatory. Optional features are not taken into account in the price comparison of tenders.”

EU:n rahoittaman hankkeen tai ohjelman nimi: The procurement is related to EU_PREVAIL-project (Partnership for Realization and Validation of AI hardware Leadership) financed by EU funds.
Lisätietoja:
“Additional information regarding the section II.2.7) above: Agreement shall enter into force on the latest date of signature by the Parties and shall be in...”    Näytä lisää
Suorituspaikka
Pääkohde tai suorituspaikka:
“Espoo”

Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Kelpoisuus harjoittaa ammattitoimintaa:
“As stated in the invitation to tender documents.”
Taloudellinen ja rahoituksellinen asema:
“Selection criteria as stated in the invitation to tender documents”
Tekninen ja ammatillinen pätevyys:
“Selection criteria as stated in the invitation to tender documents”
Sopimuksen toteuttaminen
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot:
“As stated in the invitation to tender documents.”

Menettely
Oikeusperusta: 32014L0024
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 6 kuukautta
Tarjousten avauspäivä: 2023-06-19 📅
Tarjousten avausaika: 12:05
Lisätietoja:
“The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date and time.”

“The opening of tenders shall not be a public event.”
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (nimi): Price
Laatukriteeri (painotus): 100
Hinta (painotus): 100

Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Yhteystiedot
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=458678&tpk=d983cc71-c1a2-4360-aa2c-cc0d91814ddd 🌏

Viite
Lisätietoja

“This notice has links and/or attachments listed in https://www.hankintailmoitukset.fi/en/public/procurement/88279/notice/128779”

Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Sörnäistenkatu 1
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00580
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2023/S 096-301971 (2023-05-16)