Edge-Handling Sputtering Cluster Tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

The object of the tender process is an edge-handling sputtering cluster tool (later also “Equipment”). The Equipment is a sputtering cluster tool for 200-mm wafers with wafer edge-handling capability for the VTT Micronova cleanroom semiconductor front end. The procurement includes a deposition chamber with four magnetron sputtering sources. During transport and processing, the wafers are mechanically touched only at the wafer edge, and they can be flipped in vacuum between the processes. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.

Määräaika

Deadline 2026-08-24

Kuka?

• VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

Mitä?

• Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)

Missä?

• Helsinki-Uusimaa › Helsinki-Uusimaa

Hankintojen historia

Päivämäärä	Asiakirja
2026-08-06	hankintailmoitus

hankintailmoitus (2026-08-06)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Edge-Handling Sputtering Cluster Tool
Viitenumero: Reg. no 19/206/2026
Lyhyt kuvaus:

Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Kuvaus
Sisäinen tunniste: Reg. no 19/206/2026
Tämä hankinta soveltuu myös pienille ja keskisuurille yrityksille (pk-yrityksille) ✅
Lisätietoja:

The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.

Edistettävä sosiaalinen tavoite: Ihmisoikeuksia koskeva due diligence -velvoite maailmanlaajuisissa toimitusketjuissa
Pääkohde tai suorituspaikka: Please see the invitation to tender.
Maa: Suomi 🇫🇮
Suorituspaikka: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Kesto: 14 kuukautta
Myöntämisperusteet
Hinta ✅
Hinta (painotus): 80
Laatukriteeri (nimi): Quality
Laatukriteeri (painotus): 20
Otsikko
Erän tunnistenumero: LOT-0000

Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Avoin menettely ✅
Oikeusperusta: Direktiivi 2014/24/EU
Menettelyn tärkeimmät piirteet:

The tender process is based on the open procedure applicable to contracts that exceed the EU procurement threshold.

Nopeutettu menettely:

The contracting authority (VTT) here states that, due to urgency, it is practically impossible to comply with the standard deadlines for the open procedure set in section 56 § of the Finnish Public Procurement Act. The time limit for submitting the tenders is shortened so that tendering period will be at least 15 days (section 57 §). The justified reasons for urgency and therefore shortening the deadlines are as follows: The procurement will be financed as part of a larger EU-wide research project, which VTT will be joining. The project schedule and funding conditions determine the timeline within which the procurements must be carried out. The project schedule and funding conditions are not determined solely by VTT. VTT’s funding depends on the successful completion of the procurements within the overall project schedule and on the equipment being deployed within the given timeframe. For this reason, the contracting entity has decided to shorten the deadlines for procurement procedure set in 56 §, to ensure that it can fulfill its obligations within the specified schedule. VTT has published a prior information notice of the procurement.

Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2026-08-24 13:00:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2026-08-24 13:15:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Vähimmäisaika, jonka kuluessa tarjoajan on pidettävä tarjous voimassa: 6 kuukautta
Tarjouspyynnön ehdot
Tarjoaja voi jättää useamman kuin yhden tarjouksen
Tarjousten avaamisen päivämäärä: 2026-08-24 13:15:00 📅
Sähköinen laskutus: Pakollinen
Sähköistä maksua käytetään ✅
Lisätietojen pyytämisen määräaika: 2026-08-13 09:00:00 📅
Myöntämisperusteet
Painotustyyppi: Painotus (prosentteina, tarkka)
Tarjouspyynnön ehdot
Sopimukseen sisältyy suoritusehtoja ✅

Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Sopimukseen liittyvät ehdot
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot:

A binding contract between the parties concerning the subject of the procurement shall not enter into force until both parties have signed the contract. For more information, please see the invitation to tender.

Hankintaviranomainen
Nimi ja osoitteet
Nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Yhteyspiste: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
URL: https://www.vttresearch.com/fi 🌏
Hankintaviranomaisen tyyppi
Julkisoikeudellinen yhteisö
Päätoimi
Talous- ja rahoitusasiat
Viestintä
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=619507&tpk=54974743-831a-4140-93fd-ea3326b1af33 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=619507&tpk=54974743-831a-4140-93fd-ea3326b1af33 🌏
Edellisen ilmoituksen tunniste: 175060-2026
Tarjouksen/hakemuksen jättäminen sähköisesti: Pakollinen

Täydentävät tiedot
Lisätietoja

The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.

Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Kansallinen rekisterinumero: 3006157-6
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postinumero: 00520
Postitoimipaikka: Helsinki
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Puhelin: +358 295643300 📞
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Palvelu, josta voi saada tietoja uudelleentarkastelumenettelystä
Sama kuin: Arvostelurunko
Uudelleentarkastelumenettely
Tarkat tiedot uudelleentarkastelumenettelyjen määräajasta (määräajoista):

The appeal period is determined in accordance with the Act on Public Procurement and Concession Contracts (1397/2016).

Tietoa sähköisistä työnkuluista
Sähköinen laskutus hyväksytään
Lähde: OJS 2026/S 151-548119 (2026-08-06)

Uudet hankinnat asiaan liittyvissä luokissa 🆕

Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) (15 uudet hankinnat)