Defect inspection system

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

VTT is looking to acquire an automated defect inspection tool for 200 mm and 300 mm patterned wafers. The tool will enable rapid tracking of defects that appear during the manufacturing process of functional devices (in-line and end-of-line in the Front-end process). The tool must be capable of detecting particles, voids, cracks, scratches, pits, bumps, and hazes in the pattern. The materials of the patterns that the machine must be able to analyze are silicon oxides and nitrides, polysilicon, metals, and photoresist. The object of the tender process and the technical requirements are described in more detail in the invitation to tender documents.

Määräaika

Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2026-07-28. Hankinta julkaistiin 2026-06-12.

Toimittajat

Seuraavat toimittajat mainitaan hankintapäätöksissä tai muissa hankinta-asiakirjoissa:

• Confovis GmbH

Kuka?

• VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

Mitä?

• Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)

Missä?

• Helsinki-Uusimaa › Helsinki-Uusimaa

Hankintojen historia

Päivämäärä	Asiakirja
2026-06-12	hankintailmoitus
2026-10-13	Ilmoitus tehdystä sopimuksesta

hankintailmoitus (2026-06-12)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Defect inspection system
Viitenumero: Reg. no 34/206/2026
Lyhyt kuvaus:

Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Kuvaus
Sisäinen tunniste: Reg. no 34/206/2026
Tämä hankinta soveltuu myös pienille ja keskisuurille yrityksille (pk-yrityksille) ✅
Lisätietoja:

The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.

Edistettävä sosiaalinen tavoite: Ihmisoikeuksia koskeva due diligence -velvoite maailmanlaajuisissa toimitusketjuissa
Pääkohde tai suorituspaikka: Please see the invitation to tender.
Maa: Suomi 🇫🇮
Suorituspaikka: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Kesto: 14 kuukautta
Myöntämisperusteet
Hinta ✅
Hinta (painotus): 90
Laatukriteeri (nimi): Quality
Laatukriteeri (painotus): 10
Otsikko
Erän tunnistenumero: LOT-0000

Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Avoin menettely ✅
Oikeusperusta: Direktiivi 2014/24/EU
Menettelyn tärkeimmät piirteet:

The tender process is based on the open procedure applicable to contracts that exceed the EU procurement threshold.

Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2026-07-28 13:00:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2026-07-28 13:30:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Vähimmäisaika, jonka kuluessa tarjoajan on pidettävä tarjous voimassa: 6 kuukautta
Tarjouspyynnön ehdot
Tarjoaja voi jättää useamman kuin yhden tarjouksen
Tarjousten avaamisen päivämäärä: 2026-07-28 13:30:00 📅
Sähköinen laskutus: Pakollinen
Sähköistä maksua käytetään ✅
Lisätietojen pyytämisen määräaika: 2026-06-22 13:00:00 📅
Myöntämisperusteet
Painotustyyppi: Painotus (prosentteina, tarkka)
Tarjouspyynnön ehdot
Sopimukseen sisältyy suoritusehtoja ✅

Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Sopimukseen liittyvät ehdot
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot:

A binding contract between the parties concerning the subject of the procurement shall not enter into force until both parties have signed the contract. For more information, please see the invitation to tender.

Hankintaviranomainen
Nimi ja osoitteet
Nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Yhteyspiste: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
URL: https://www.vttresearch.com/fi 🌏
Hankintaviranomaisen tyyppi
Julkisoikeudellinen yhteisö
Päätoimi
Talous- ja rahoitusasiat
Viestintä
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=615193&tpk=8bf2e577-28c2-4ffa-bd73-6105d44d9a19 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=615193&tpk=8bf2e577-28c2-4ffa-bd73-6105d44d9a19 🌏
Tarjouksen/hakemuksen jättäminen sähköisesti: Pakollinen

Täydentävät tiedot
Lisätietoja

The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.

Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Kansallinen rekisterinumero: 3006157-6
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postinumero: 00520
Postitoimipaikka: Helsinki
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Puhelin: +358 295643300 📞
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Palvelu, josta voi saada tietoja uudelleentarkastelumenettelystä
Sama kuin: Arvostelurunko
Uudelleentarkastelumenettely
Tarkat tiedot uudelleentarkastelumenettelyjen määräajasta (määräajoista):

The appeal period is determined in accordance with the Act on Public Procurement and Concession Contracts (1397/2016).

Tietoa sähköisistä työnkuluista
Sähköinen laskutus hyväksytään
Lähde: OJS 2026/S 114-413000 (2026-06-12)

Ilmoitus tehdystä sopimuksesta (2026-10-13)
Kohde
Hankinnan laajuus
Hankinnan kokonaisarvo (ilman arvonlisäveroa): 1 190 000 EUR 💰
Kesto
Aloituspäivä: 2026-10-06 📅

Sopimuksen tekeminen
Sopimus/erä myönnetään ✅
Erän tunnistenumero: LOT-0000
Sopimuksen numero: Reg. no 34/206/2026
Sopimuksen tekopäivä: 2026-10-06 📅
Tietoa tarjouskilpailuista
Saatujen tarjousten määrä: 3
Tiedot sopimuksen/erän arvosta (ilman alv:tä)
Sopimuksen/osuuden kokonaisarvo: 1 190 000 EUR 💰
Tarjouksen tunniste: tenderReference-5018565-955518
Osan tai osien ryhmän tunniste: LOT-0000
Toimeksisaajan nimi ja osoite
Nimi: Confovis GmbH
Kansallinen rekisterinumero: HRB 504262
Postiosoite: Ernst-Ruska-Ring 11
Postinumero: 07745
Postitoimipaikka: Jena
Alue: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Maa: Saksa 🇩🇪
Organisaation koko: Mikro, pieni tai keskisuuri
Lähde: OJS 2026/S 199-710873 (2026-10-13)

Uudet hankinnat asiaan liittyvissä luokissa 🆕

Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) (10 uudet hankinnat)