200 mm wafer coating and developing track tool DUV

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is 200 mm wafer coating and developing track tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The procurement involves a tool integrated into a DUV exposure tool, but also capable of developing wafers from the i-line stepper in the same facility. The tool features open cassette loading stations, spin coating and developing stations and hot and cool plates, and a module for integration with the DUV exposure tool. The tool also should have an option of extracting processed wafers in open cassettes. The coating and developing track tool is intended to support silicon semiconductor front end processing of 200 mm wafers, facilitating exposure by DUV stepper or other exposure tool. To this end, it must be capable of priming wafers with HMDS, coating wafers with DUV resist and with BARC, and developing DUV and i-line types of exposed resist, with the associated heating and cooling arrangements. The technical specification of the object of the tender is described in more detail in this Annex 1 of the invitation to tender. The tendered Tool must comply with all technical properties and functionalities, performance specifications and acceptance criteria as set out in Annex 1 and Annex 2 (“Facilities, materials and connector types”). A tender which does not meet one or more of the requirements specified in the Annex 1 and Annex 2, may be rejected for failing to comply with the call for tenders. The comparison criterion for the tenders is economic advantageous (see section "Grounds for decision") with 80 % price weighting and 20 % quality weighting. A reference price has to be given for the equipment that meets all the requirements set in the invitation to tender, especially its Annex 1. The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents. Partial tenders will not be accepted. OPTIONS (mandatory) The following are mandatory options (to be offered): - Maintenance contract (See section Maintenance contract option). VTT does not commit to purchase the options. The price(s) of the option(s) are not taken into account when comparing tenders.

Määräaika

Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2025-12-29. Hankinta julkaistiin 2025-11-28.

Kuka?

• VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

Mitä?

• Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)

Missä?

• Helsinki-Uusimaa › Helsinki-Uusimaa

Hankintojen historia

Päivämäärä	Asiakirja
2025-11-28	hankintailmoitus
2025-12-17	hankintailmoitus
2025-12-23	hankintailmoitus

hankintailmoitus (2025-11-28)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: 200 mm wafer coating and developing track tool DUV
Viitenumero: VTT 74/206/2025
Lyhyt kuvaus:
“THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is 200 mm wafer coating and developing track tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor...”

Lyhyt kuvaus

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS

The object of the procurement is 200 mm wafer coating and developing track tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The procurement involves a tool integrated into a DUV exposure tool, but also capable of developing wafers from the i-line stepper in the same facility. The tool features open cassette loading stations, spin coating and developing stations and hot and cool plates, and a module for integration with the DUV exposure tool. The tool also should have an option of extracting processed wafers in open cassettes.

The coating and developing track tool is intended to support silicon semiconductor front end processing of 200 mm wafers, facilitating exposure by DUV stepper or other exposure tool. To this end, it must be capable of priming wafers with HMDS, coating wafers with DUV resist and with BARC, and developing DUV and i-line types of exposed resist, with the associated heating and cooling arrangements.

The technical specification of the object of the tender is described in more detail in this Annex 1 of the invitation to tender. The tendered Tool must comply with all technical properties and functionalities, performance specifications and acceptance criteria as set out in Annex 1 and Annex 2 (“Facilities, materials and connector types”).

A tender which does not meet one or more of the requirements specified in the Annex 1 and Annex 2, may be rejected for failing to comply with the call for tenders.

The comparison criterion for the tenders is economic advantageous (see section "Grounds for decision") with 80 % price weighting and 20 % quality weighting.

A reference price has to be given for the equipment that meets all the requirements set in the invitation to tender, especially its Annex 1.

The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
Partial tenders will not be accepted.

OPTIONS (mandatory)

The following are mandatory options (to be offered):
- Maintenance contract (See section Maintenance contract option).

VTT does not commit to purchase the options. The price(s) of the option(s) are not taken into account when comparing tenders.

Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Kuvaus
Sisäinen tunniste: VTT 74/206/2025
Tämä hankinta soveltuu myös pienille ja keskisuurille yrityksille (pk-yrityksille) ✅
Hankinnan kuvaus:
“THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS The object of the procurement is 200 mm wafer coating and developing track tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor...”

Hankinnan kuvaus

THE OBJECT OF THE TENDER PROCESS

The object of the procurement is 200 mm wafer coating and developing track tool for VTT Micronova cleanroom semiconductor front end processing. The procurement involves a tool integrated into a DUV exposure tool, but also capable of developing wafers from the i-line stepper in the same facility. The tool features open cassette loading stations, spin coating and developing stations and hot and cool plates, and a module for integration with the DUV exposure tool. The tool also should have an option of extracting processed wafers in open cassettes.

The coating and developing track tool is intended to support silicon semiconductor front end processing of 200 mm wafers, facilitating exposure by DUV stepper or other exposure tool. To this end, it must be capable of priming wafers with HMDS, coating wafers with DUV resist and with BARC, and developing DUV and i-line types of exposed resist, with the associated heating and cooling arrangements.

The technical specification of the object of the tender is described in more detail in this Annex 1 of the invitation to tender. The tendered Tool must comply with all technical properties and functionalities, performance specifications and acceptance criteria as set out in Annex 1 and Annex 2 (“Facilities, materials and connector types”).

A tender which does not meet one or more of the requirements specified in the Annex 1 and Annex 2, may be rejected for failing to comply with the call for tenders.

The comparison criterion for the tenders is economic advantageous (see section "Grounds for decision") with 80 % price weighting and 20 % quality weighting.

A reference price has to be given for the equipment that meets all the requirements set in the invitation to tender, especially its Annex 1.

The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
Partial tenders will not be accepted.

OPTIONS (mandatory)

The following are mandatory options (to be offered):
- Maintenance contract (See section Maintenance contract option).

VTT does not commit to purchase the options. The price(s) of the option(s) are not taken into account when comparing tenders.

Lisätietoja:
“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.”
Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Edistettävä sosiaalinen tavoite: Ihmisoikeuksia koskeva due diligence -velvoite maailmanlaajuisissa toimitusketjuissa
Postiosoite: Tekniikantie 17
Postinumero: 02150
Postitoimipaikka: Espoo
Maa: Suomi 🇫🇮
Suorituspaikka: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Kesto: 15 (MONTH)
Jäljempänä oleva aikataulu on ilmaistu kuukausina.
Myöntämisperusteet
Hinta ✅
Hinta (painotus): 80
Laatukriteeri (nimi): Quality comparison
Laatukriteeri (painotus): 20
Otsikko
Erän tunnistenumero: LOT-0000

Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Avoin menettely ✅
Oikeusperusta: Direktiivi 2014/24/EU
Menettelyn tärkeimmät piirteet:
“The tender process is based on the open procedure applicable to contracts that exceed the EU procurement threshold.”
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2025-12-29 10:00:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2025-12-29 10:01:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Vähimmäisaika, jonka kuluessa tarjoajan on pidettävä tarjous voimassa: 6
Tarjouspyynnön ehdot
Tarjoaja voi jättää useamman kuin yhden tarjouksen
Tarjousten avaamisen päivämäärä: 2025-12-29 10:01:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Sähköinen laskutus: Pakollinen
Sähköistä tilaamista käytetään ✅
Sähköistä maksua käytetään ✅
Lisätietojen pyytämisen määräaika: 2025-12-10 10:00:00 📅
Myöntämisperusteet
Painotustyyppi: Painotus (pisteinä, tarkka)

Hankintaviranomainen
Nimi ja osoitteet
Nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Yhteyspiste: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
URL: https://www.vttresearch.com/fi 🌏
Hankintaviranomaisen tyyppi
Julkisoikeudellinen yhteisö
Päätoimi
Talous- ja rahoitusasiat
Viestintä
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=582479&tpk=1cfab603-0621-4674-b911-4b57f5fad929 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=582479&tpk=1cfab603-0621-4674-b911-4b57f5fad929 🌏
Tarjouksen/hakemuksen jättäminen sähköisesti: Pakollinen

Täydentävät tiedot
Lisätietoja

“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.”
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Kansallinen rekisterinumero: 3006157-6
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postinumero: 00520
Postitoimipaikka: Helsinki
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Puhelin: +358 295643300 📞
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Palvelu, josta voi saada tietoja uudelleentarkastelumenettelystä
Nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Yhteyspiste: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
URL: https://www.vttresearch.com/fi 🌏
Uudelleentarkastelumenettely
Tarkat tiedot uudelleentarkastelumenettelyjen määräajasta (määräajoista):
“14 Days”
Tietoa sähköisistä työnkuluista
Sähköinen laskutus hyväksytään
Sähköistä tilaamista käytetään
Sähköistä maksua käytetään
Lähde: OJS 2025/S 232-799738 (2025-11-28)

hankintailmoitus (2025-12-17)
Menettely
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2026-01-20 10:00:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2026-01-20 10:01:00 📅
Tarjouspyynnön ehdot
Tarjousten avaamisen päivämäärä: 2026-01-20 10:01:00 📅

Muutokset
Alkuperäiseen ilmoitukseen korjattava teksti
Erän tunnistenumero: LOT-0000
Muut lisätiedot

“The contracting authority extends the deadline for the submission of tenders with this corrigendum. No other information is amended”
Muutoksen pääasiallinen syy: Ajantasaiset tiedot
Information about modifications
Muutettavan ilmoituksen edellinen versio: e75cf6ca-6c9e-4614-9a51-9a75b08f3bb7-01
Lähde: OJS 2025/S 245-849527 (2025-12-17)

hankintailmoitus (2025-12-23)
Menettely
Tarjouspyynnön ehdot
Lisätietojen pyytämisen määräaika: 2026-01-09 10:00:00 📅

Muutokset
Alkuperäiseen ilmoitukseen korjattava teksti
Erän tunnistenumero: LOT-0000
Uusi arvo
Teksti:
“By this notice, VTT extends only the deadline for submitting clarification questions. No other information or terms are amended.”
Muut lisätiedot

“Extension of Time for Submitting Clarification Questions because of ongoing Christmas holiday season.”
Muutoksen pääasiallinen syy: Ajantasaiset tiedot
Information about modifications
Muutettavan ilmoituksen edellinen versio: eec00ab0-da81-4dd5-9607-34e3f254af98-01
Lähde: OJS 2025/S 248-861714 (2025-12-23)

Uudet hankinnat asiaan liittyvissä luokissa 🆕

Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) (18 uudet hankinnat)