Single wafer plasma asher tool

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

The object of the tender process is Single wafer plasma asher tool (later also “Equipment”). The procurement object is a new 200 mm Single Wafer Plasma asher tool for the VTT Micronova cleanroom semiconductor front end. The procurement includes a process chamber for Polymer Removal and PR ash. The single-wafer plasma asher tool is for silicon semiconductor front-end, the tool must be compatible with industry-standard cleanroom requirements, including automated wafer handling, welded gas lines with VCR-gasket construction, particle filters, etc., and CE-compliant, with Emergency shutdown, capable processing of 200 mm including the following processes: Polymer removal PR ash (bulk strip, HDIS, Descums) The Single wafer asher tool will be used in silicon photonics devices, quantum devices, radiation detectors, and MEMS devices, which are the main product lines in the research fab. The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.

Määräaika

Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2025-01-20. Hankinta julkaistiin 2024-12-19.

Kuka? Mitä? Missä?
Hankintojen historia
Päivämäärä Asiakirja
2024-12-19 hankintailmoitus
2025-01-14 hankintailmoitus
hankintailmoitus (2024-12-19)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Single wafer plasma asher tool
Viitenumero: 75/206/2024
Lyhyt kuvaus:
“The object of the tender process is Single wafer plasma asher tool (later also “Equipment”). The procurement object is a new 200 mm Single Wafer Plasma...”    Näytä lisää
Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Suorituspaikkaa koskevat rajoitukset: Missä tahansa
Kuvaus
Sisäinen tunniste: 75/206/2024
Tämä hankinta soveltuu myös pienille ja keskisuurille yrityksille (pk-yrityksille)
Hankinnan kuvaus:
“The object of the tender process is Single wafer plasma asher tool (later also “Equipment”). The procurement object is a new 200 mm Single Wafer Plasma...”    Näytä lisää
Lisätietoja:
“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.”
Sopimustyyppi: Tavarat
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Edistettävä sosiaalinen tavoite: Ihmisoikeuksia koskeva due diligence -velvoite maailmanlaajuisissa toimitusketjuissa
Kesto: 12 (MONTH)
Jäljempänä oleva aikataulu on ilmaistu kuukausina.
Myöntämisperusteet
Hinta
Hinta (painotus): 100
Otsikko
Erän tunnistenumero: LOT-0000

Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Avoin menettely
Oikeusperusta: Direktiivi 2014/24/EU
Menettelyn tärkeimmät piirteet:
“The tender process is based on the open procedure applicable to contracts that exceed the EU procurement threshold.”
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2025-01-20 06:00:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2025-01-20 06:05:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Vähimmäisaika, jonka kuluessa tarjoajan on pidettävä tarjous voimassa: 6
Tarjouspyynnön ehdot
Tarjoaja voi jättää useamman kuin yhden tarjouksen
Tarjousten avaamisen päivämäärä: 2025-01-20 06:05:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Sähköinen laskutus: Sallittu
Sähköistä tilaamista käytetään
Sähköistä maksua käytetään
Lisätietojen pyytämisen määräaika: 2025-01-08 08:00:00 📅
Myöntämisperusteet
Painotustyyppi: Painotus (pisteinä, tarkka)

Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Taloudellinen ja rahoituksellinen asema
Luettelo ja lyhyt kuvaus valintaperusteista:
“Liability insurance: The tenderer must have valid liability insurance latest in the beginning of the contract period. The liability insurance must be...”    Näytä lisää

“Statement of Financial and Other Operational Competence: Tenderer must be able to carry out the contract according to the invitation to tender. On VTT’s...”    Näytä lisää
Näytä lisää (1)
“Contractor’s obligations and liability when work is contracted out: The tenderer commits to provide VTT the information specified in the Act on the...”    Näytä lisää
Osallistumisehdot
Luettelo ja lyhyt kuvaus säännöistä ja kriteereistä:
“Environmental issues and corporate social responsibility (CSR): The supplier undertakes to comply with the business principles set by VTT (Annex 5...”    Näytä lisää
Luettelo ja lyhyt kuvaus olosuhteista:
“Enrolment in a trade register: It is enrolled in the relevant trade registers kept in the Member State of its establishment: It is enrolled in relevant...”    Näytä lisää
Tekninen ja ammatillinen pätevyys
Luettelo ja lyhyt kuvaus valintaperusteista:
“Experience (Company references): The suitability requirements are to ensure tenderer’s ability to fulfill and perform the procurement. A reference is a...”    Näytä lisää
Osallistumisehdot
Poissulkemisperuste: bankr-nat
bankruptcy
corruption
cred-arran
crime-org
distorsion
finan-laund
fraud
human-traffic
insolvency
liq-admin
misrepresent
nati-ground
partic-confl
prep-confl
prof-misconduct
sanction
socsec-pay
susp-act
tax-pay
terr-offence
Kuvaus poissulkemisperusteista:
“The economic operator is in any analogous situation like bankruptcy arising from a similar procedure under national laws and regulations.”

“The economic operator is bankrupt.”
Näytä lisää (19)
“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”    Näytä lisää

“The economic operator is in arrangement with creditors.”

“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”    Näytä lisää

“The economic operator has entered into agreements with other economic operators aimed at distorting competition.”

“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”    Näytä lisää

“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”    Näytä lisää

“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”    Näytä lisää

“The economic operator is the subject of insolvency or winding-up.”

“The assets of the economic operator are being administered by a liquidator or by the court.”

“The economic operator can confirm that: a) It has been guilty of serious misrepresentation in supplying the information required for the verification of...”    Näytä lisää

“Any person who is a member of the economic operator’s administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision or control...”    Näytä lisää

“The economic operator is aware of any conflict of interest, as indicated in national law, the relevant notice or the procurement documents due to its...”    Näytä lisää

“The economic operator or an undertaking related to it has advised the contracting authority or contracting entity or otherwise been involved in the...”    Näytä lisää

“The economic operator is guilty of grave professional misconduct.”

“The economic operator has experienced that a prior public contract, a prior contract with a contracting entity or a prior concession contract was terminated...”    Näytä lisää

“The economic operator has breached its obligations relating to the payment social security contributions, both in the country in which it is established and...”    Näytä lisää

“The business activities of the economic operator are suspended.”

“The economic operator has breached its obligations relating to the payment of taxes, both in the country in which it is established and in Member State of...”    Näytä lisää

“The economic operator itself or any person who is a member of its administrative, management or supervisory body or has powers of representation, decision...”    Näytä lisää

Hankintaviranomainen
Nimi ja osoitteet
Nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Yhteyspiste: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
URL: https://www.vttresearch.com/fi 🌏
Hankintaviranomaisen tyyppi
Julkisoikeudellinen yhteisö
Päätoimi
Talous- ja rahoitusasiat
Viestintä
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=537071&tpk=b60f45a7-42b7-473e-a28f-7412e7cdea54 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=537071&tpk=b60f45a7-42b7-473e-a28f-7412e7cdea54 🌏
Tarjouksen/hakemuksen jättäminen sähköisesti: Pakollinen

Täydentävät tiedot
Lisätietoja

“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.”
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Kansallinen rekisterinumero: 3006157-6
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postinumero: 00520
Postitoimipaikka: Helsinki
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Puhelin: +358 295643300 📞
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Tietoa sähköisistä työnkuluista
Sähköinen laskutus hyväksytään
Sähköistä tilaamista käytetään
Sähköistä maksua käytetään
Lähde: OJS 2024/S 248-786533 (2024-12-19)
hankintailmoitus (2025-01-14)
Menettely
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2025-01-23 14:00:00 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2025-01-23 14:05:00 📅
Tarjouspyynnön ehdot
Tarjousten avaamisen päivämäärä: 2025-01-23 14:05:00 📅

Muutokset
Alkuperäiseen ilmoitukseen korjattava teksti
Erän tunnistenumero: LOT-0000
Muut lisätiedot

“In Annex 1, Process ware 1.2.8 sentence: "Only quartz/ceramic parts and anodized Al may be inside the process chamber during the processing." will be...”    Näytä lisää
Muutoksen pääasiallinen syy: Julkaisijan virheen korjaaminen
Information about modifications
Muutettavan ilmoituksen edellinen versio: 95e24a51-c51e-48f1-9819-cb59555e6be6-01
Lähde: OJS 2025/S 011-032534 (2025-01-14)