i-line STEPPER for nanofabrication processes

VTT Technical Research Centre of Finland Ltd

VTT is looking to acquire a new or a pre-owned projection exposure system for photolithographic processes in the i-line bandwidth. This exposure system will be further called wafer “stepper”. The system of interest has the lens with property of image reduction in ratio of 1:5 or 1:4. The stepper has to be fully automated and capable of processing 150mm and 200mm ø substrates. The type of wafers the tool should be able to process are described further. The tool should be of cleanliness class 1 of the SEMI standard. The supplier will take in consideration the environmental conditions of the tool installation location and will work together on to reduce the external impact on quality output. Possible floor vibrations to be constrained by common efforts.
For a pre-owned equipment, the age should be less than 10 years old. VTT will accept a pre-owned system only from the original equipment manufacturer.
The tool must comply with the cleanroom equipment standard health, safety and environmental requirements. More technical details are described in separate sections of this specification.
The pricing of the equipment will consist of the main price for the tool minimum requirements (“total price of the equipment”) and a separate price for the optional parts, features and efforts. The optional goods offered are not included in the total price of the equipment. All parts and accessories necessary for the exposure of 200 mm wafers must be included in the delivery and the main price.
More technical details and specification of the equipment is described in the invitation to tender documents.

Määräaika

Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2023-03-31. Hankinta julkaistiin 2023-02-24.

Kuka? Mitä? Missä?
Hankintojen historia
Päivämäärä Asiakirja
2023-02-24 hankintailmoitus
hankintailmoitus (2023-02-24)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Teollisuuskoneet
Viitenumero: Reg. no. 5/206/2023
Lyhyt kuvaus:
“VTT is looking to acquire a new or a pre-owned projection exposure system for photolithographic processes in the i-line bandwidth. This exposure system will...”    Näytä lisää
Ilmoituksen metatiedot
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Teollisuuskoneet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Manner-Suomi 🏙️

Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Kokonaistaloudellisesti edullisin tarjous

Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Julkisoikeudellinen yhteisö
Hankintaviranomaisen nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Yhteystiedot
Internetosoite: https://www.vttresearch.com/en 🌏
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=430242&tpk=cf3cfb05-f2cc-4d2f-b5e7-b6b87b5ae598 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=430242&tpk=cf3cfb05-f2cc-4d2f-b5e7-b6b87b5ae598 🌏

Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2023-02-24 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2023-03-31 📅
Julkaisupäivä: 2023-03-01 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2023/S 043-126379
EUVL-S-numero: 43
Lisätietoja

“The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date and time. The opening of tenders shall not be a public event.”

Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
“VTT is looking to acquire a new or a pre-owned projection exposure system for photolithographic processes in the i-line bandwidth. This exposure system will...”    Näytä lisää

“For a pre-owned equipment, the age should be less than 10 years old. VTT will accept a pre-owned system only from the original equipment manufacturer.”
Näytä lisää (6)
“The tool must comply with the cleanroom equipment standard health, safety and environmental requirements. More technical details are described in separate...”    Näytä lisää

“The pricing of the equipment will consist of the main price for the tool minimum requirements (“total price of the equipment”) and a separate price for the...”    Näytä lisää

“More technical details and specification of the equipment is described in the invitation to tender documents.”

“More technical details and specification of the equipment to be supplied is discussed in Annex 1.”

“The objective is to find one professional supplier who can supply Equipment and installation and user training in its entirety. VTT Technical Research...”    Näytä lisää

“The objective is for the equipment to be supplied by February 2025 at the latest.”
Kesto: 24 kuukautta
Vaihtoehtojen kuvaus:
“The options have been described in the invitation to tender documents.”

Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Kelpoisuus harjoittaa ammattitoimintaa:
“As stated in the invitation to tender documents.”
Taloudellinen ja rahoituksellinen asema:
“Selection criteria as stated in the invitation to tender documents”
Tekninen ja ammatillinen pätevyys:
“Selection criteria as stated in the invitation to tender documents”
Sopimuksen toteuttaminen
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot:
“As stated in the invitation to tender documents.”

Menettely
Oikeusperusta: 32014L0024
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 2023-08-31 📅
Tarjousten avauspäivä: 2023-03-31 📅
Tarjousten avausaika: 12:30
Lisätietoja:
“The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date and time.”

“The opening of tenders shall not be a public event.”

Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Yhteystiedot
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=430242&tpk=cf3cfb05-f2cc-4d2f-b5e7-b6b87b5ae598 🌏

Viite
Lisätietoja

“This notice has links and/or attachments listed in https://www.hankintailmoitukset.fi/en/public/procurement/83442/notice/121318”

Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Sörnäistenkatu 1
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00580
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2023/S 043-126379 (2023-02-24)