PARTICLE MEASUREMENT TOOL
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
The object of the tender process is Particle measurement tool (later “equipment” or “tool”). The equipment will be installed in the Micronova facility in Espoo, which is jointly used by VTT Technical Research Centre of Finland Ltd. (VTT) and Aalto University for research, development and small-volume production. The cleanroom classification is ISO 4…ISO 6 (10…1000). The total area of the cleanroom is 2 600 m2, and there is an installed equipment base of 200 processing and measurement tools.
The basic use for equipment is to detect particles and other defects and scratches on unpatterned silicon wafers and different materials on silicon surface. The tool must be non-contact and non-destructive for determining particles and defects on the surfaces of specific materials on silicon substrate. Typical materials to be analyzed are semiconductors, oxides, nitrides metals and photoresists.
The tool must be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The tool must have an automatic mapping stage control system, and the stage must be suitable for 150 mm- and 200 mm silicon wafers. All parts needed for measuring 150 mm and 200 mm silicon wafers must be included in the offer.
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2022-11-17. Hankinta julkaistiin 2022-10-14.
ToimittajatSeuraavat toimittajat mainitaan hankintapäätöksissä tai muissa hankinta-asiakirjoissa:
Kuka? Mitä? Missä?
Hankintojen historia
| Päivämäärä | Asiakirja |
|---|---|
| 2022-10-14 | hankintailmoitus |
| 2023-08-28 | Ilmoitus tehdystä sopimuksesta |
hankintailmoitus (2022-10-14)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Sähkölaitteet ja -kojeet
Viitenumero: REG. NO. 50/206/2022
Lyhyt kuvaus:
Ilmoituksen metatiedot
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Sähkölaitteet ja -kojeet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Manner-Suomi 🏙️
Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Kokonaistaloudellisesti edullisin tarjous
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Julkisoikeudellinen yhteisö
Hankintaviranomaisen nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Yhteystiedot
Internetosoite: https://www.vttresearch.com/en 🌏
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=415916&tpk=dd4a49e3-9ddf-487f-a441-70a8a666e137 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=415916&tpk=dd4a49e3-9ddf-487f-a441-70a8a666e137 🌏
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2022-10-14 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2022-11-17 📅
Julkaisupäivä: 2022-10-19 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2022/S 202-574294
EUVL-S-numero: 202
Lisätietoja
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
Kesto: 12 kuukautta
Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Kelpoisuus harjoittaa ammattitoimintaa: As stated in the invitation to tender documents.
Taloudellinen ja rahoituksellinen asema: Selection criteria as stated in the invitation to tender documents
Tekninen ja ammatillinen pätevyys: Selection criteria as stated in the invitation to tender documents
Sopimuksen toteuttaminen
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot: As stated in the invitation to tender documents.
Menettely
Oikeusperusta: 32014L0024
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 2023-02-28 📅
Tarjousten avauspäivä: 2022-11-17 📅
Tarjousten avausaika: 12:30
Lisätietoja:
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Yhteystiedot
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=415916&tpk=dd4a49e3-9ddf-487f-a441-70a8a666e137 🌏
Viite
Lisätietoja
Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Sörnäistenkatu 1
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00580
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2022/S 202-574294 (2022-10-14)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Sähkölaitteet ja -kojeet
Viitenumero: REG. NO. 50/206/2022
Lyhyt kuvaus:
The object of the tender process is Particle measurement tool (later “equipment” or “tool”). The equipment will be installed in the Micronova facility in Espoo, which is jointly used by VTT Technical Research Centre of Finland Ltd. (VTT) and Aalto University for research, development and small-volume production. The cleanroom classification is ISO 4…ISO 6 (10…1000). The total area of the cleanroom is 2 600 m2, and there is an installed equipment base of 200 processing and measurement tools.
The basic use for equipment is to detect particles and other defects and scratches on unpatterned silicon wafers and different materials on silicon surface. The tool must be non-contact and non-destructive for determining particles and defects on the surfaces of specific materials on silicon substrate. Typical materials to be analyzed are semiconductors, oxides, nitrides metals and photoresists.
The tool must be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The tool must have an automatic mapping stage control system, and the stage must be suitable for 150 mm- and 200 mm silicon wafers. All parts needed for measuring 150 mm and 200 mm silicon wafers must be included in the offer.
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
Näytä lisää
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Sähkölaitteet ja -kojeet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Manner-Suomi 🏙️
Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Kokonaistaloudellisesti edullisin tarjous
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Julkisoikeudellinen yhteisö
Hankintaviranomaisen nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Yhteystiedot
Internetosoite: https://www.vttresearch.com/en 🌏
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=415916&tpk=dd4a49e3-9ddf-487f-a441-70a8a666e137 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=415916&tpk=dd4a49e3-9ddf-487f-a441-70a8a666e137 🌏
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2022-10-14 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2022-11-17 📅
Julkaisupäivä: 2022-10-19 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2022/S 202-574294
EUVL-S-numero: 202
Lisätietoja
The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date and time.
The opening of tenders shall not be a public event.
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
The object of the tender process is Particle measurement tool (later “equipment” or “tool”). The equipment will be installed in the Micronova facility in Espoo, which is jointly used by VTT Technical Research Centre of Finland Ltd. (VTT) and Aalto University for research, development and small-volume production. The cleanroom classification is ISO 4…ISO 6 (10…1000). The total area of the cleanroom is 2 600 m2, and there is an installed equipment base of 200 processing and measurement tools.
Näytä lisää
The basic use for equipment is to detect particles and other defects and scratches on unpatterned silicon wafers and different materials on silicon surface. The tool must be non-contact and non-destructive for determining particles and defects on the surfaces of specific materials on silicon substrate. Typical materials to be analyzed are semiconductors, oxides, nitrides metals and photoresists.
Näytä lisää
The tool must be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The tool must have an automatic mapping stage control system, and the stage must be suitable for 150 mm- and 200 mm silicon wafers. All parts needed for measuring 150 mm and 200 mm silicon wafers must be included in the offer.
Näytä lisää
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
The object of this tender process has been described in more detail in Annex 1 “Technical properties and functionality, performance specifications and acceptance criteria” to this invitation to tender.
Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Kelpoisuus harjoittaa ammattitoimintaa: As stated in the invitation to tender documents.
Taloudellinen ja rahoituksellinen asema: Selection criteria as stated in the invitation to tender documents
Tekninen ja ammatillinen pätevyys: Selection criteria as stated in the invitation to tender documents
Sopimuksen toteuttaminen
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot: As stated in the invitation to tender documents.
Menettely
Oikeusperusta: 32014L0024
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 2023-02-28 📅
Tarjousten avauspäivä: 2022-11-17 📅
Tarjousten avausaika: 12:30
Lisätietoja:
The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date and time.
The opening of tenders shall not be a public event.
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: 2647375-4
Yhteystiedot
Asiakirjojen URL-osoite: https://tarjouspalvelu.fi/vtt?id=415916&tpk=dd4a49e3-9ddf-487f-a441-70a8a666e137 🌏
Viite
Lisätietoja
This notice has links and/or attachments listed in https://www.hankintailmoitukset.fi/en/public/procurement/76738/notice/110663
Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Sörnäistenkatu 1
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00580
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2022/S 202-574294 (2022-10-14)
Ilmoitus tehdystä sopimuksesta (2023-08-28)
Kohde
Hankinnan laajuus
Viitenumero: Reg. no. 50/206/2022
Lyhyt kuvaus:
Hankinnan kokonaisarvo: 610 000 EUR 💰
Ilmoituksen metatiedot
Asiakirjatyyppi: Ilmoitus tehdystä sopimuksesta
Menettely
Tarjouksen tyyppi: Ei sovelleta
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2023-08-28 📅
Julkaisupäivä: 2023-09-01 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2023/S 168-527207
Viittaa ilmoitukseen: 2022/S 202-574294
EUVL-S-numero: 168
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
Menettely
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (nimi): Quality
Laatukriteeri (painotus): 0
Hinta (painotus): 100
Sopimuksen tekeminen
Sopimuksen tekemispäivä: 2023-08-08 📅
Nimi: KLA Corporation
Kansallinen rekisterinumero: 20853
Postitoimipaikka: 95035 Milpitas
Maa: Yhdysvallat 🇺🇸
Hankinnan kokonaisarvo: 610 000 EUR 💰
Tietoa tarjouskilpailuista
Saatujen tarjousten määrä: 2
Lähde: OJS 2023/S 168-527207 (2023-08-28)
Kohde
Hankinnan laajuus
Viitenumero: Reg. no. 50/206/2022
Lyhyt kuvaus:
The object of the tender process was Particle measurement tool (later “equipment” or “tool”). The equipment will be installed in the Micronova facility in Espoo, which is jointly used by VTT Technical Research Centre of Finland Ltd. (VTT) and Aalto University for research, development and small-volume production. The cleanroom classification is ISO 4…ISO 6 (10…1000). The total area of the cleanroom is 2 600 m2, and there is an installed equipment base of 200 processing and measurement tools.
The basic use for equipment is to detect particles and other defects and scratches on unpatterned silicon wafers and different materials on silicon surface. The tool must be non-contact and non-destructive for determining particles and defects on the surfaces of specific materials on silicon substrate. Typical materials to be analyzed are semiconductors, oxides, nitrides metals and photoresists.
The tool must be compatible with installation in an ISO 4 classified cleanroom. The tool must have an automatic mapping stage control system, and the stage must be suitable for 150 mm- and 200 mm silicon wafers. All parts needed for measuring 150 mm and 200 mm silicon wafers must be included in the offer.
The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.
Näytä lisää
Ilmoituksen metatiedot
Asiakirjatyyppi: Ilmoitus tehdystä sopimuksesta
Menettely
Tarjouksen tyyppi: Ei sovelleta
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2023-08-28 📅
Julkaisupäivä: 2023-09-01 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2023/S 168-527207
Viittaa ilmoitukseen: 2022/S 202-574294
EUVL-S-numero: 168
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
The object of the tender process was Particle measurement tool (later “equipment” or “tool”). The equipment will be installed in the Micronova facility in Espoo, which is jointly used by VTT Technical Research Centre of Finland Ltd. (VTT) and Aalto University for research, development and small-volume production. The cleanroom classification is ISO 4…ISO 6 (10…1000). The total area of the cleanroom is 2 600 m2, and there is an installed equipment base of 200 processing and measurement tools.
Näytä lisää
The object of the tender process was described in more detail in the invitation to tender documents.
Menettely
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (nimi): Quality
Laatukriteeri (painotus): 0
Hinta (painotus): 100
Sopimuksen tekeminen
Sopimuksen tekemispäivä: 2023-08-08 📅
Nimi: KLA Corporation
Kansallinen rekisterinumero: 20853
Postitoimipaikka: 95035 Milpitas
Maa: Yhdysvallat 🇺🇸
Hankinnan kokonaisarvo: 610 000 EUR 💰
Tietoa tarjouskilpailuista
Saatujen tarjousten määrä: 2
Lähde: OJS 2023/S 168-527207 (2023-08-28)
Uudet hankinnat asiaan liittyvissä luokissa 🆕
- Sähkökoneet, -kojeet, -laitteet ja -kulutustarvikkeet; valaistus (10 uudet hankinnat)