The object of the procurement is LPCVD LTO/PSG furnace for VTT Micronova cleanroom front end. LPCVD furnace is for front end 200 mm and 150 mm wafer processing.
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
Määräaika
Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2021-03-08.
Hankinta julkaistiin 2021-02-03.
Toimittajat
Seuraavat toimittajat mainitaan hankintapäätöksissä tai muissa hankinta-asiakirjoissa:
Kohde Hankinnan laajuus
Otsikko: LPCVD LTO/PSG Furnace
Reg. no 3/206/2021
Tuotteet/palvelut: Teollisuus- tai laboratoriouunit, polttouunit ja muut uunit📦
Lyhyt kuvaus:
“The object of the procurement is LPCVD LTO/PSG furnace for VTT Micronova cleanroom front end. LPCVD furnace is for front end 200 mm and 150 mm wafer...”
Lyhyt kuvaus
The object of the procurement is LPCVD LTO/PSG furnace for VTT Micronova cleanroom front end. LPCVD furnace is for front end 200 mm and 150 mm wafer processing.
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
1️⃣
Suorituspaikka: Helsinki-Uusimaa🏙️
Hankinnan kuvaus:
“The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.” Myöntämisperusteet
Hinta ei ole ainoa myöntämisperuste, ja kaikki perusteet ilmoitetaan ainoastaan hankinta-asiakirjoissa
Sopimuksen, puitesopimuksen tai dynaamisen hankintajärjestelmän kesto
Jäljempänä oleva aikataulu on ilmaistu kuukausina.
Kuvaus
Kesto: 6
Tietoa vaihtoehdoista
Vaihtoehdot ✅
Vaihtoehtojen kuvaus: The options have been described in the invitation to tender documents.
Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot Osallistumisehdot
Luettelo ja lyhyt kuvaus olosuhteista: As stated in the invitation to tender documents.
Taloudellinen ja rahoituksellinen asema
Hankinta-asiakirjoissa mainitut valintaperusteet
Tekninen ja ammatillinen pätevyys
Hankinta-asiakirjoissa mainitut valintaperusteet
Sopimukseen liittyvät ehdot
Sopimuksen täytäntöönpanoehdot: As stated in the invitation to tender documents.
Menettely Toimenpiteen tyyppi
Avoin menettely
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2021-03-08
15:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen on oltava voimassa: 2021-07-31 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot: 2021-03-08
15:30 📅
Tarjousten avaamista koskevat ehdot (paikka): Espoo, Finland.
Tarjousten avaamista koskevat ehdot (Tiedot valtuutetuista henkilöistä ja avaamismenettelystä):
“The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date and time.
The opening of tenders shall not be a public event.”
Täydentävät tiedot Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00520
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi📧
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus🌏
Lähde: OJS 2021/S 026-063538 (2021-02-03)
Ilmoitus tehdystä sopimuksesta (2021-06-23) Kohde Hankinnan laajuus
Otsikko: Notice of Suspension LPCVD LTO/PSG Furnace
Reg. no 3/206/2021
Lyhyt kuvaus:
“The object of the procurement was LPCVD LTO/PSG furnace for VTT Micronova cleanroom front end. LPCVD furnace is for front end 200 mm and 150 mm wafer...”
Lyhyt kuvaus
The object of the procurement was LPCVD LTO/PSG furnace for VTT Micronova cleanroom front end. LPCVD furnace is for front end 200 mm and 150 mm wafer processing.
The object of the tender process is described in more detail in the invitation to tender documents.
Menettely Hallinnolliset tiedot
Tätä menettelyä koskeva aiempi julkaisu: 2021/S 026-063538
Sopimuksen tekeminen
1️⃣ Tiedot muista kuin palkintorahoista
Tarjouksia tai osallistumishakemuksia ei saatu tai ne kaikki hylättiin
Täydentävät tiedot Lisätietoja
“No acceptable tenders to the invitation to tender were received by the deadline. The procurement process is suspended. VTT will evaluate the need for a...”
No acceptable tenders to the invitation to tender were received by the deadline. The procurement process is suspended. VTT will evaluate the need for a possible new procurement process.
Näytä lisää
Lähde: OJS 2021/S 122-323020 (2021-06-23)
Vapaaehtoista ex ante avoimuutta koskeva ilmoitus (2021-07-26) Hankintaviranomainen Nimi ja osoitteet
Nimi: Teknologian Tutkimuskeskus VTT OY
Postiosoite: PL 1000
Postitoimipaikka: Vtt
Yhteyshenkilö: Kai Pousár
Puhelin: +358 405116101📞
Sähköposti: kai.pousar@vtt.fi📧
Alue: Helsinki-Uusimaa🏙️
URL: https://www.vttresearch.com/fi🌏
Kohde Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
“Low-Pressure Chemical Vapor Deposition (LPCVD) LTO/PSG furnace for VTT Micronova cleanroom front end.”
Hankinnan kokonaisarvo (ilman arvonlisäveroa): EUR 270 000 💰
Kuvaus
Hankinnan kuvaus:
“Micronova cleanroom front end.LPCVD furnace is for front end
200 mm and 150 mm wafer processing including the following processes:
• LPCVD Low-Temperature...”
Hankinnan kuvaus
Micronova cleanroom front end.LPCVD furnace is for front end
200 mm and 150 mm wafer processing including the following processes:
• LPCVD Low-Temperature Oxide (Silicon dioxide) LTO;
• LPCVD (Phosphorus-Silicate Glass) PSG;
• LPCVD (Boron doped Phosphorus-Silicate Glass) BPSG, to be possibly added later.
The required properties are low and controllable particle level, small footprint. The LTO/PSG furnace must be able to process thin films for the fabrication of optically and electrically active device.
Menettely Neuvottelumenettely ilman ennakkojulkaisua
Ei tarjouksia tai ei sopivia tarjouksia/osallistumispyyntöjä avoimeen menettelyyn vastaamiseksi
Toimenpiteen tyyppi
Neuvottelumenettely ilman ennakkojulkaisua (selitys):
“VTT has published a procurement notice ‘LPCVD LTO/PSG Furnace, Reg. 3/206/2021’ Procurement in excess of the EU threshold TED (date 3 February 2021)....”
Neuvottelumenettely ilman ennakkojulkaisua (selitys)
VTT has published a procurement notice ‘LPCVD LTO/PSG Furnace, Reg. 3/206/2021’ Procurement in excess of the EU threshold TED (date 3 February 2021). Contract notice number in TED 2021 /S 026-063538. No bids were received by the deadline of 8 March 2021 for tenders.
After the deadline for submitting bids, VTT has clarified in the spring of 2021 the method of implementation of the procurement and potential suppliers. VTT has requested an offer from Expertech company. On the basis of the offer received on 7 June 2021 and specified on 15 June 2021 Expertech's offer meets the requirements set by VTT in the original procurement notice minimum requirements and the terms of the original invitation to tender will not be substantially altered.