PECVD deposition system, Reg. No: 434/060/2013

VTT Technical Research Centre of Finland

The object of the tender is a Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) system for 150 and 200 mm wafers, with an automatic cassette-to-cassette loading system. The main processes the equipment will be used for are deposition of silicon oxide and silicon nitride. The equipment must be compatible with standard IC- and MEMS- device processing.
The process specifications of the equipment to be supplied are defined in more detail in the invitation to tender, Annex 5.
The PECVD System will be installed in the Micronova Nanofabrication Centre cleanroom, jointly used by VTT and Aalto University for research, development and small-volume production of MEMS- and nanoelectronic devices and materials. The cleanroom classification is ISO4…ISO 6 (10…1000). The total area of the cleanroom is 2 600 m2 and there is an installed equipment base of 200 processing and measurement tools.

Määräaika

Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2014-01-20. Hankinta julkaistiin 2013-12-04.

Toimittajat

Seuraavat toimittajat mainitaan hankintapäätöksissä tai muissa hankinta-asiakirjoissa:

• Oxford Instruments Plasma Technology

Kuka?

• VTT Technical Research Centre of Finland

Mitä?

• Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)

Missä?

• Suomi/Finland › Manner-Suomi

Hankintojen historia

Päivämäärä	Asiakirja
2013-12-04	hankintailmoitus
2014-06-30	Ilmoitus tehdystä sopimuksesta

hankintailmoitus (2013-12-04)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja)
Ilmoituksen metatiedot
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Ei määritelty
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦

Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Kokonaistaloudellisesti edullisin tarjous

Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Ei määritelty
Hankintaviranomaisen nimi: VTT Technical Research Centre of Finland
Postiosoite: P.O. Box 1000
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Vtt
Yhteystiedot
Internetosoite: http://www.vtt.fi 🌏
Sähköposti: maarit.makitalo@vtt.fi 📧

Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2013-12-04 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2014-01-20 📅
Julkaisupäivä: 2013-12-05 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2013/S 236-409606
EUVL-S-numero: 236
Lisätietoja

The invitation to tender documents are available, free of charge in VTT Registry office. Please, address the requests for the tendering documens by e-mail to: kirjaamo@vtt.fi.

Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:

The process specifications of the equipment to be supplied are defined in more detail in the invitation to tender, Annex 5.

The PECVD System will be installed in the Micronova Nanofabrication Centre cleanroom, jointly used by VTT and Aalto University for research, development and small-volume production of MEMS- and nanoelectronic devices and materials. The cleanroom classification is ISO4…ISO 6 (10…1000). The total area of the cleanroom is 2 600 m2 and there is an installed equipment base of 200 processing and measurement tools.

Viitenumero: Reg. No: 434/060/2013

Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Kelpoisuus harjoittaa ammattitoimintaa: Have been described in the invitation to tender documents.
Taloudellinen ja rahoituksellinen asema: Have been described in the invitation to tender documents.
Vähimmäistaso(t): Have been described in the invitation to tender documents.
Tekninen ja ammatillinen pätevyys: Have been described in the invitation to tender documents.

Menettely
Kielet
Kieli: englanti 🗣️

Hankintaviranomainen
Yhteystiedot
Yhteyspiste: VTT Technical Research Centre of Finland
Maarit Mäkitalo
Nimi: VTT Technical Research Centre of Finland
Postiosoite: PO. Box 1000
Yhteyspiste: Registry office
Sähköposti: kirjaamo@vtt.fi 📧
Osallistumisen URL-osoite: http://www.vtt.fi 🌏

Viite
Tunnisteet
Hankintaviranomaisen antama viitenumero: Reg. No: 434/060/2013

Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00520
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Puhelin: +358 295643300 📞
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Faksi: +358 295643314 📠
Lähde: OJS 2013/S 236-409606 (2013-12-04)

Ilmoitus tehdystä sopimuksesta (2014-06-30)
Kohde
Hankinnan laajuus
Hankinnan kokonaisarvo: 460 000 💰
Ilmoituksen metatiedot
Asiakirjatyyppi: Ilmoitus tehdystä sopimuksesta

Menettely
Tarjouksen tyyppi: Ei sovelleta
Myöntämisperusteet
Ei määritelty

Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Hankintaviranomaisen nimi: Teknologian tutkimuskeskus VTT

Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2014-06-30 📅
Julkaisupäivä: 2014-07-03 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2014/S 125-222429
Viittaa ilmoitukseen: 2013/S 236-409606
EUVL-S-numero: 125

Sopimuksen tekeminen
Sopimuksen tekemispäivä: 2014-03-20 📅
Nimi: Oxford Instruments Plasma Technology
Lähde: OJS 2014/S 125-222429 (2014-06-30)

Uudet hankinnat asiaan liittyvissä luokissa 🆕

Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) (19 uudet hankinnat)