Inductively-coupled Plasma Reactive-ion Etching (ICP-RIE) Device
Aalto University Foundation sr
Aalto University School of Electrical Engineering and School of Chemical Engineering are seeking a complete turn-key, stand-alone deep reactive ion etcher to be used in silicon etching. The equipment should be capable of running both close to room-temperature Bosch processes and cryo-processes without hardware changes in the equipment. The equipment should be capable of adjusting plasma power over wide range enabling high etch rate silicon etch processes, low damage shallow etching and black silicon etching. The DRIE equipment will be installed into an ISO 5 class cleanroom and should be fully compatible with the requirements of such environment.
Please, see attached documents for more detailed requirements for the object of the contract.
Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2020-06-11. Hankinta julkaistiin 2020-05-12.
Kuka? Mitä? Missä?
Hankintojen historia
| Päivämäärä | Asiakirja |
|---|---|
| 2020-05-12 | hankintailmoitus |
hankintailmoitus (2020-05-12)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Kuivaetsauslaitteet
Viitenumero: D/256/01.01.04.00/2020
Lyhyt kuvaus:
Ilmoituksen metatiedot
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Kuivaetsauslaitteet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Alin hinta
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Muu
Hankintaviranomaisen nimi: Aalto University Foundation sr
Postiosoite: P.O. Box 11000
Postinumero: 00076
Postitoimipaikka: Aalto
Yhteystiedot
Internetosoite: http://www.aalto.fi/en/ 🌏
Sähköposti: aino.huhma@aalto.fi 📧
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=288300&tpk=cc02ac7a-718a-4704-96d8-ba540956f71f 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=288300&tpk=cc02ac7a-718a-4704-96d8-ba540956f71f 🌏
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2020-05-12 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2020-06-11 📅
Julkaisupäivä: 2020-05-13 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2020/S 093-221701
EUVL-S-numero: 93
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
Kesto: 6 kuukautta
Menettely
Oikeusperusta: 32014L0024
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 3 kuukautta
Tarjousten avauspäivä: 2020-06-11 📅
Tarjousten avausaika: 12:01
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: 2228357-4
Muu hankintaviranomaisen tyyppi: Foundation-based university
Yhteystiedot
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=288300&tpk=cc02ac7a-718a-4704-96d8-ba540956f71f 🌏
Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: The Market Court
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00520
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2020/S 093-221701 (2020-05-12)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Kuivaetsauslaitteet
Viitenumero: D/256/01.01.04.00/2020
Lyhyt kuvaus:
Aalto University School of Electrical Engineering and School of Chemical Engineering are seeking a complete turn-key, stand-alone deep reactive ion etcher to be used in silicon etching. The equipment should be capable of running both close to room-temperature Bosch processes and cryo-processes without hardware changes in the equipment. The equipment should be capable of adjusting plasma power over wide range enabling high etch rate silicon etch processes, low damage shallow etching and black silicon etching. The DRIE equipment will be installed into an ISO 5 class cleanroom and should be fully compatible with the requirements of such environment.
Please, see attached documents for more detailed requirements for the object of the contract.
Näytä lisää
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Kuivaetsauslaitteet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Alin hinta
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Muu
Hankintaviranomaisen nimi: Aalto University Foundation sr
Postiosoite: P.O. Box 11000
Postinumero: 00076
Postitoimipaikka: Aalto
Yhteystiedot
Internetosoite: http://www.aalto.fi/en/ 🌏
Sähköposti: aino.huhma@aalto.fi 📧
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=288300&tpk=cc02ac7a-718a-4704-96d8-ba540956f71f 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=288300&tpk=cc02ac7a-718a-4704-96d8-ba540956f71f 🌏
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2020-05-12 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2020-06-11 📅
Julkaisupäivä: 2020-05-13 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2020/S 093-221701
EUVL-S-numero: 93
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
Aalto University School of Electrical Engineering and School of Chemical Engineering are seeking a complete turn-key, stand-alone deep reactive ion etcher to be used in silicon etching. The equipment should be capable of running both close to room-temperature Bosch processes and cryo-processes without hardware changes in the equipment. The equipment should be capable of adjusting plasma power over wide range enabling high etch rate silicon etch processes, low damage shallow etching and black silicon etching. The DRIE equipment will be installed into an ISO 5 class cleanroom and should be fully compatible with the requirements of such environment.
Näytä lisää
Please, see attached documents for more detailed requirements for the object of the contract.
Menettely
Oikeusperusta: 32014L0024
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 3 kuukautta
Tarjousten avauspäivä: 2020-06-11 📅
Tarjousten avausaika: 12:01
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: 2228357-4
Muu hankintaviranomaisen tyyppi: Foundation-based university
Yhteystiedot
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=288300&tpk=cc02ac7a-718a-4704-96d8-ba540956f71f 🌏
Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: The Market Court
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00520
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2020/S 093-221701 (2020-05-12)
Uudet hankinnat asiaan liittyvissä luokissa 🆕