Vacuum Cluster Connecting an ALD Reactor to Surface Analytical Instrument

University of Helsinki/Chemistry Department

The instrument will be acquired for Chemistry Department, University of Helsinki. The aim is to study atomic layer deposition (and etching) process mechanisms. The system connects an ALD reactor to a UHV cluster containing at least XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) and TPD (temperature programmed desorption) chambers, optionally also FTIR chamber. Samples can be transferred through loadlocks from the ALD reactor to the UHV cluster and back. Samples are not full wafers but smaller pieces which in the ALD reactor are placed on a wafer size carrier. The offer may cover:
(i) the whole instrument;
(ii) the ALD reactor only; or
(iii) the UHV cluster with the analytical instruments. When offering only 1 part, the supplier needs to prepare ensuring proper interfacing between the ALD loadlock and the UHV loadlock to ensure a complete working system. Final designs for the interfacing are to be done at the negotiation phase of the procurement.

Määräaika
Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2020-01-15. Hankinta julkaistiin 2019-12-12.

Toimittajat
Seuraavat toimittajat mainitaan hankintapäätöksissä tai muissa hankinta-asiakirjoissa:
Kuka?

Mitä?

Missä?

Hankintojen historia
Päivämäärä Asiakirja
2019-12-12 hankintailmoitus
2020-06-22 Ilmoitus tehdystä sopimuksesta
hankintailmoitus (2019-12-12)
Hankintaviranomainen
Nimi ja osoitteet
Nimi: University of Helsinki/Chemistry Department
Kansallinen rekisterinumero: 0313471-7
Postiosoite: Yliopistonkatu 3
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00014
Maa: Suomi 🇫🇮
Sähköposti: hankinnat@helsinki.fi 📧
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
URL: https://www.helsinki.fi/fi 🌏
Viestintä
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=263285&tpk=1fd3fe72-0748-4658-90dc-ef95246638a4 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=263285&tpk=1fd3fe72-0748-4658-90dc-ef95246638a4 🌏
Hankintaviranomaisen tyyppi
Muu tyyppi: University

Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Vacuum Cluster Connecting an ALD Reactor to Surface Analytical Instrument
Tuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Lyhyt kuvaus:
“The instrument will be acquired for Chemistry Department, University of Helsinki. The aim is to study atomic layer deposition (and etching) process...”    Näytä lisää
Tietoa eristä
Tarjouksia voidaan jättää kaikista eristä

1️⃣
Hankinnan laajuus
Otsikko: ALD Reactor
Otsikko
Erän tunnistenumero: 1
Kuvaus
Lisätuotteet/palvelut: Laboratoriolaitteet, optiset ja tarkkuuslaitteet (lukuun ottamatta silmälaseja) 📦
Suorituspaikka: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Hankinnan kuvaus:
“The ALD reactor must be of a hot wall flow type reactor with a loadlock. Besides its normal operation, the loadlock must allow connection to the UHV cluster...”    Näytä lisää
Myöntämisperusteet
Hinta ei ole ainoa myöntämisperuste, ja kaikki perusteet ilmoitetaan ainoastaan hankinta-asiakirjoissa
Sopimuksen, puitesopimuksen tai dynaamisen hankintajärjestelmän kesto
Jäljempänä oleva aikataulu on ilmaistu kuukausina.
Kuvaus
Kesto: 12
Tietoa vaihtoehdoista
Vaihtoehdot
Vaihtoehtojen kuvaus:
“2 solid (heated) sources, 2 liquid (non-heated) sources, at least 1 gas inlet will be acquired. Additional sources as options. Plasma source must be offered...”    Näytä lisää

2️⃣
Hankinnan laajuus
Otsikko: UHV Cluster and Surface Analytical Instruments
Otsikko
Erän tunnistenumero: 2
Kuvaus
Hankinnan kuvaus:
“UHV cluster must contain at least XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) and TPD (temperature programmed desorption) instruments in separate chambers,...”    Näytä lisää
Tietoa vaihtoehdoista
Vaihtoehtojen kuvaus:
“FTIR as a separate chamber can be offered as an option. Optional accessories to XPS chamber may contain, but are not limited to, imaging XPS, ARXPS, ARPES,...”    Näytä lisää

Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Kilpailullinen vuoropuhelu
Hallinnolliset tiedot
Tarjousten tai osallistumishakemusten vastaanottamisen määräaika: 2020-01-15 12:00 📅
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Jäljempänä oleva aikataulu on ilmaistu kuukausina.
Vähimmäisaika, jonka kuluessa tarjoajan on pidettävä tarjous voimassa: 3

Täydentävät tiedot
Tietoa sähköisistä työnkuluista
Sähköistä tilaamista käytetään
Sähköinen laskutus hyväksytään
Sähköistä maksua käytetään
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00520
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Faksi: +358 295643314 📠
URL: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2019/S 242-594292 (2019-12-12)
Ilmoitus tehdystä sopimuksesta (2020-06-22)
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
“Vacuum cluster connecting an ALD reactor to surface analytical instrument for Chemistry department, University of Helsinki. The aim is to study atomic layer...”    Näytä lisää
Hankinnan kokonaisarvo (ilman arvonlisäveroa): EUR 1 176 960 💰
Tietoa eristä
Tämä sopimus on jaettu osiin
Kuvaus
Hankinnan kuvaus:
“The ALD reactor must be of a hot wall flow type reactor with a loadlock. Besides its normal operation, the loadlock must allow connection to the UHV cluster...”    Näytä lisää
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (nimi): Quality
Laatukriteeri (painotus): 45
Hinta (painotus): 55
Tietoa vaihtoehdoista
Vaihtoehtojen kuvaus:
“2 solid (heated) sources, 2 liquid (non-heated) sources, at least one gas inlet will be acquired. Additional sources as options. Plasma source must be...”    Näytä lisää
Kuvaus
Hankinnan kuvaus:
“UHV cluster must contain at least XPS (X-ray photoelectron spectroscopy) and TPD (temperature programmed desorption) instruments in separate chambers,...”    Näytä lisää
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (painotus): 40
Hinta (painotus): 60
Tietoa vaihtoehdoista
Vaihtoehtojen kuvaus:
“FTIR as a separate chamber can be offered as an option. Optional accessories to XPS chamber may contain, but are not limited to, imaging XPS, ARXPS, ARPES,...”    Näytä lisää

Menettely
Toimenpiteen tyyppi
Rajoitettu menettely
Hallinnolliset tiedot
Tätä menettelyä koskeva aiempi julkaisu: 2019/S 242-594292

Sopimuksen tekeminen

1️⃣
Erän tunnistenumero: 1
Otsikko: ALD Reactor
Sopimuksen tekopäivä: 2020-06-10 📅
Tietoa tarjouskilpailuista
Saatujen tarjousten määrä: 2
Pk-yrityksiltä saatujen tarjousten määrä: 2
Muista EU:n jäsenvaltioista tulevilta tarjoajilta saatujen tarjousten määrä: 0
EU:n ulkopuolisista maista tulevilta tarjoajilta saatujen tarjousten määrä: 0
Sähköisesti vastaanotettujen tarjousten määrä: 2
Toimeksisaajan nimi ja osoite
Nimi: Beneq Oy
Kansallinen rekisterinumero: FI19563372
Postiosoite: Olarinluoma 9
Postitoimipaikka: Espoo
Postinumero: 02200
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 447097412 📞
Sähköposti: kari.koski@beneq.com 📧
Alue: Helsinki-Uusimaa 🏙️
Toimeksisaaja on pk-yritys
Tiedot sopimuksen/erän arvosta (ilman alv:tä)
Hankintasopimuksen/kiinteistön arvioitu kokonaisarvo: EUR 400 000 💰
Sopimuksen/osuuden kokonaisarvo: EUR 382 100 💰

2️⃣
Erän tunnistenumero: 2
Otsikko: UHV Cluster and Surface Analytical Instruments
Sopimuksen tekopäivä: 2020-05-29 📅
Tietoa tarjouskilpailuista
Saatujen tarjousten määrä: 1
Pk-yrityksiltä saatujen tarjousten määrä: 1
Sähköisesti vastaanotettujen tarjousten määrä: 1
Toimeksisaajan nimi ja osoite
Nimi: PREVAC sp. z o.o.
Kansallinen rekisterinumero: PL6471782175
Postiosoite: ul. Raciborska 61
Postitoimipaikka: Rogów
Postinumero: 44362
Maa: Puola 🇵🇱
Puhelin: +48 324592000 📞
Sähköposti: tenders@prevac.pl 📧
Alue: Polska 🏙️
Tiedot sopimuksen/erän arvosta (ilman alv:tä)
Hankintasopimuksen/kiinteistön arvioitu kokonaisarvo: EUR 800 000 💰
Sopimuksen/osuuden kokonaisarvo: EUR 794 860 💰
Lähde: OJS 2020/S 121-295087 (2020-06-22)
Aiheeseen liittyvät haut 🔍