Oxide Plasma Etch tool
VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
The object of the tender process is to acquire a plasma etch tool capable of etching oxide and dielectric layers. The tool must be of industry-standard performance and high reliability.
The procurement is described in detail in the invitation to tender documents.
Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2017-07-24. Hankinta julkaistiin 2017-06-19.
ToimittajatSeuraavat toimittajat mainitaan hankintapäätöksissä tai muissa hankinta-asiakirjoissa:
Kuka? Mitä? Missä?
Hankintojen historia
| Päivämäärä | Asiakirja |
|---|---|
| 2017-06-19 | hankintailmoitus |
| 2017-10-10 | Ilmoitus tehdystä sopimuksesta |
hankintailmoitus (2017-06-19)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Erillistoiminnoin varustetut koneet ja laitteet
Viitenumero: Reg. no. 281/206/2017
Lyhyt kuvaus:
Ilmoituksen metatiedot
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Erillistoiminnoin varustetut koneet ja laitteet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Suomi/Finland 🏙️
Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Kokonaistaloudellisesti edullisin tarjous
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Julkisoikeudellinen yhteisö
Hankintaviranomaisen nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Yhteystiedot
Internetosoite: http://www.vttresearch.com/ 🌏
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
Faksi: +358 207227001 📠
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=128902&tpk=113b170e-1706-4123-b1ff-711a6a255291 🌏
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2017-06-19 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2017-07-24 📅
Julkaisupäivä: 2017-06-22 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2017/S 118-236538
EUVL-S-numero: 118
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
Arvioitu kokonaisarvo: 600 000 EUR 💰
Lyhyt kuvaus:
Arvioitu arvo ilman arvonlisäveroa: 600 000 EUR 💰
Kesto: 12 kuukautta
Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Kelpoisuus harjoittaa ammattitoimintaa: As stated in the invitation to tender documents.
Menettely
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 2017-10-30 📅
Tarjousten avauspäivä: 2017-07-24 📅
Tarjousten avausaika: 12:00
Paikka: Espoo
The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date.
The opening of tenders shall not be a public event.
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: FI26473754
Yhteystiedot
Ostajaprofiilin osoite: http://www.vttresearch.com/ 🌏
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki 🌏
Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00520
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Faksi: +358 295643314 📠
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2017/S 118-236538 (2017-06-19)
Kohde
Hankinnan laajuus
Otsikko: Erillistoiminnoin varustetut koneet ja laitteet
Viitenumero: Reg. no. 281/206/2017
Lyhyt kuvaus:
The object of the tender process is to acquire a plasma etch tool capable of etching oxide and dielectric layers. The tool must be of industry-standard performance and high reliability.
The procurement is described in detail in the invitation to tender documents.
Näytä lisää
Alkukieli: englanti 🗣️
Asiakirjatyyppi: hankintailmoitus
Sopimuksen luonne: Tavarat
Asetus: Euroopan unioni ja WTO-maat
Yhteinen hankintanimikkeistö (CPV)
Koodi: Erillistoiminnoin varustetut koneet ja laitteet 📦
Suorituspaikka
NUTS-alue: Suomi/Finland 🏙️
Menettely
Menettelyn tyyppi: Avoin menettely
Tarjouksen tyyppi: Tarjous koskee kaikkia eriä
Myöntämisperusteet
Kokonaistaloudellisesti edullisin tarjous
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Maa: Suomi 🇫🇮
Hankintaviranomaisen tyyppi: Julkisoikeudellinen yhteisö
Hankintaviranomaisen nimi: VTT Technical Research Centre of Finland Ltd
Postiosoite: P.O. Box 1000, VTT
Postinumero: 02044
Postitoimipaikka: Espoo
Yhteystiedot
Internetosoite: http://www.vttresearch.com/ 🌏
Sähköposti: kilpailutus@vtt.fi 📧
Puhelin: +358 20722111 📞
Faksi: +358 207227001 📠
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki 🌏
Osallistumisen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki?id=128902&tpk=113b170e-1706-4123-b1ff-711a6a255291 🌏
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2017-06-19 📅
Tarjousten jättämisen määräaika: 2017-07-24 📅
Julkaisupäivä: 2017-06-22 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2017/S 118-236538
EUVL-S-numero: 118
Kohde
Hankinnan laajuus
Lyhyt kuvaus:
The object of the tender process is to acquire a plasma etch tool capable of etching oxide and dielectric layers. The tool must be of industry-standard performance and high reliability.
The procurement is described in detail in the invitation to tender documents.
Lyhyt kuvaus:
VTT Microelectronics is currently expanding the research and production capabilities of its wafer processing line. To accomplish this we are looking for a plasma etch tool with very specific hardware configuration which can both match and expand upon our existing dielectric etch capabilities, currently using a Lam 4520. The tool must be a capacitively coupled, dual frequency plasma etcher capable of achieving the specified selectivity, profile, and etch rates requirements. Reliability and wafer handling are of paramount importance.
Näytä lisää
Kesto: 12 kuukautta
Oikeudelliset, taloudelliset, rahoitukselliset ja tekniset tiedot
Osallistumisehdot
Kelpoisuus harjoittaa ammattitoimintaa: As stated in the invitation to tender documents.
Menettely
Tarjousten vastaanottoaika: 12:00
Kielet, joilla tarjoukset tai osallistumishakemukset voidaan jättää: englanti 🗣️
Tarjouksen voimassaoloaika: 2017-10-30 📅
Tarjousten avauspäivä: 2017-07-24 📅
Tarjousten avausaika: 12:00
Paikka: Espoo
The given date is preliminary. VTT reserves the right to change the scheduled date.
The opening of tenders shall not be a public event.
Hankintaviranomainen
Tunnistetiedot
Kansallinen rekisterinumero: FI26473754
Yhteystiedot
Ostajaprofiilin osoite: http://www.vttresearch.com/ 🌏
Asiakirjojen URL-osoite: https://hanki.tarjouspalvelu.fi/hanki 🌏
Täydentävät tiedot
Arvostelurunko
Nimi: Markkinaoikeus
Postiosoite: Radanrakentajantie 5
Postitoimipaikka: Helsinki
Postinumero: 00520
Maa: Suomi 🇫🇮
Puhelin: +358 295643300 📞
Sähköposti: markkinaoikeus@oikeus.fi 📧
Faksi: +358 295643314 📠
Internetosoite: http://www.oikeus.fi/markkinaoikeus 🌏
Lähde: OJS 2017/S 118-236538 (2017-06-19)
Ilmoitus tehdystä sopimuksesta (2017-10-10)
Kohde
Hankinnan laajuus
Viitenumero: Reg. no 281/206/2017
Lyhyt kuvaus:
Ilmoituksen metatiedot
Asiakirjatyyppi: Ilmoitus tehdystä sopimuksesta
Menettely
Tarjouksen tyyppi: Ei sovelleta
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2017-10-10 📅
Julkaisupäivä: 2017-10-13 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2017/S 197-404604
Viittaa ilmoitukseen: 2017/S 118-236538
EUVL-S-numero: 197
Menettely
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (nimi): Total uptime
Laatukriteeri (painotus): 40
Laatukriteeri (nimi): Supporting documentation
Laatukriteeri (painotus): 30
Hinnan painoarvo: 30
Sopimuksen tekeminen
Sopimuksen tekemispäivä: 2017-10-09 📅
Lähde: OJS 2017/S 197-404604 (2017-10-10)
Kohde
Hankinnan laajuus
Viitenumero: Reg. no 281/206/2017
Lyhyt kuvaus:
The object of the tender process was to acquire a plasma etch tool capable of etching oxide and dielectric layers. The tool had to be of industry-standard performance and high reliability.
Hankinnan kokonaisarvo: 598 000 EUR 💰
Ilmoituksen metatiedot
Asiakirjatyyppi: Ilmoitus tehdystä sopimuksesta
Menettely
Tarjouksen tyyppi: Ei sovelleta
Viite
Päivämäärät
Lähetyspäivä: 2017-10-10 📅
Julkaisupäivä: 2017-10-13 📅
Tunnisteet
Ilmoituksen numero: 2017/S 197-404604
Viittaa ilmoitukseen: 2017/S 118-236538
EUVL-S-numero: 197
Menettely
Myöntämisperusteet
Laatukriteeri (nimi): Total uptime
Laatukriteeri (painotus): 40
Laatukriteeri (nimi): Supporting documentation
Laatukriteeri (painotus): 30
Hinnan painoarvo: 30
Sopimuksen tekeminen
Sopimuksen tekemispäivä: 2017-10-09 📅
Lähde: OJS 2017/S 197-404604 (2017-10-10)
Uudet hankinnat asiaan liittyvissä luokissa 🆕