EBL Tool

Aalto-korkeakoulusäätiö

Elektronilitografialaitteisto, resistoitujen 100-150 mm puolijohdekiekkojen kuviointiin alle 8 nm viivanleveydellä.

Määräaika
Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2011-08-23. Hankinta julkaistiin 2011-07-11.

Kuka?

Mitä?

Hankintojen historia
Päivämäärä Asiakirja
2011-07-11 hankintailmoitus