EBL Tool
Elektronilitografialaitteisto, resistoitujen 100-150 mm puolijohdekiekkojen kuviointiin alle 8 nm viivanleveydellä.
Määräaika
Tarjousten vastaanottamisen määräaika oli 2011-08-23.
Hankinta julkaistiin 2011-07-11.
Kuka?
Mitä?
Hankintojen historia
Päivämäärä |
Asiakirja |
2011-07-11
|
hankintailmoitus
|